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寻找光学元件面形检测单位?

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发表于 2009-4-28 11:11:03 | 显示全部楼层 |阅读模式
国内那些单位能进行300mm口径以上,面形精度在1/30个波长的光学元件面形精度的检测?有知道的请指点一下,非常感谢!
发表于 2009-4-29 14:40:10 | 显示全部楼层
平面元件?球面元件?需要数字化解析的不?
 楼主| 发表于 2009-4-29 15:40:04 | 显示全部楼层
平面,需要数字化解析。楼上知道的话指点一下,非常感谢!
 楼主| 发表于 2009-5-2 10:52:47 | 显示全部楼层
怎么没下文了,没有人知道吗?
发表于 2009-5-14 14:10:07 | 显示全部楼层
ZYGO的干涉仪可以,50万美金
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