大口径非球面检测方法

kdp · 发表于 2003-11-29 23:11:00

口径多大,若口径小于200则用轮廓仪来测,测的还快.

uestcwin · 发表于 2003-12-3 01:41:00

一般为二次非球面.
口径大于300mm,而且要求波长/5的面形精度.

hai-tan · 发表于 2003-12-3 05:03:00

CGH,很时尚嘛！！

uestcwin · 发表于 2003-12-4 00:22:00

大口径非球面的计算全息条纹频率非常之高，激光直写系统还不能制作。
实际中,CGH只能检验一些小口径的或者陡度不大的非球面。

DOE · 发表于 2003-12-5 10:34:00

未必。

robertwang · 发表于 2003-12-19 05:04:00

CGH计算全息检验非球面，在美国已经实用化了，在国内还不知道哪家能做，精度怎么样。对于大口径凹非球面，多大口径都可以检验，方法很多种，但主要是补偿器检验。而对于大口径凸非球面的检验，确实是检验中的难题。我建议还是采用补偿器检验，透射检验，这种方法目前看来是国内所能采用的最好方法。美国是采用在凹面做计算全息CGH来检验，现在看来国内还不行。不过美国可以按照使用要求来做，然后卖给中国，价格据说不贵，现在就是不知道精度怎么样。

mahubble · 发表于 2003-12-24 03:26:00

德国人作的非球面加工设备就是用的cgh来补偿的。国内还是用补偿器和接触式的多。
至于测量方法只要是可以测量波像差得都可以。
凸面的检测确实非常令人恼火，允许的话可以使用背面作工艺平面当成凹面来检。
直接的方法可能都需要使用大口径大焦比的球面和补偿器共同完成。

uestcwin · 发表于 2003-12-27 22:49:00

但是制作补偿器的难度比较大，而且一般都是专用的，有没有不制作补偿器就能检测大口径非球面的方法呢？

touchsky · 发表于 2003-12-30 23:21:00

口径有多大，过去搞毕业设计时检测口径为2.16m 和4.5m的非球面，采用哈特曼法来检测，用标准孔板采用照相方式，再将照片和标准的相对照，利用计算机处理，可以得到面形的情况

biantian · 发表于 2004-1-15 07:30:00

那比较小的非球面都用什么仪器测量呢？

biantian · 发表于 2004-1-15 07:34:00

http://www.pidc.gov.tw/Publication/Newsletter/no59/p12.html

mahubble · 发表于 2004-1-17 07:29:00

要求不高的可以使用万能补偿器，或者在低精度时用万能，在高精度时用专用补偿器。干涉仪国内的便宜点。也可以用。

大口径非球面检测方法