楼主: ferry

烘烤对晶控的干扰问题

 火... [复制链接]
发表于 2009-5-27 20:56:22 | 显示全部楼层
没看到异常现象,不好说。
从图上看TiO2的速率Ripple是大了点,我做的都是0.2A以内的波动。你那么大的波动,看看电子枪电流是否也波动很大,如果是的话,改善下枪(先把A/Sec/Power%调大点看有否改善)。如果电子枪电流波动很小,说明是接收的sensor有问题,看下振荡器连接是否良好,可以的话换个新的试下。清洁工作和冷却水也确认好。慢慢排除吧,理个头绪出来。
发表于 2009-5-28 08:04:28 | 显示全部楼层
没看到异常现象,不好说。
从图上看TiO2的速率Ripple是大了点,我做的都是0.2A以内的波动。你那么大的波动,看看电子枪电流是否也波动很大,如果是的话,改善下枪(先把A/Sec/Power%调大点看有否改善)。如果电子枪 ...
jhxxmlhk 发表于 2009-5-27 20:56

他现在关键是室温下正常,加温不旋转也正常。    楼主加温多长时间啊?  把保温时间长一些试下。
发表于 2009-5-29 10:57:55 | 显示全部楼层
帮不上忙…帮顶下,学习中。我这新柯隆的机子不烘烤速率也有锯齿现象,换个晶片就可以了,(发现有些晶片频率高了还比较不好用,汗)
发表于 2009-5-29 11:55:49 | 显示全部楼层
方法总比问题多 !肯定是能解决的,楼主再好好检查一下。
 楼主| 发表于 2009-5-31 18:54:51 | 显示全部楼层
感谢各位的出谋划策,原因大体应该是如我所言,因为,当工转开到较高速率时,影响几乎没有(转速高时,四个小行星盘可作为一个均匀的发热圈,不再是点)
为什么会出现这状况,厂家和我们也很纳闷,因此,此前用过老外的机器,结构相同,没有遇到过此问题,厂家也说看到过韩国机器,一样配置,也没有发现同样问题。
决定换成帽形结构了,倘若真是温度场不均所致,说明设计结构上有问题,可能设计的行星架结构本身存在不可更改的缺陷。
郁闷啊,挺大的一改动工程的。不知改后会如何。
发表于 2009-5-31 21:34:21 | 显示全部楼层
确实挺蹊跷的。
发表于 2009-6-23 21:49:15 | 显示全部楼层
同意8楼意见。我们之前也有这样的问题,不过在机器验收的时候就解决了!
要调烘烤温控仪的PID参数!我们是把I调大,把D调小,后来就稳住了。
你可以边调边试,只要达到预设温度之后,晶控的速率不乱跳就可以了!!
经验只供参考!
发表于 2009-6-25 15:47:11 | 显示全部楼层
晶振片冷却水有没有问题?还有就是卤素灯太脏了,
发表于 2009-6-25 15:49:56 | 显示全部楼层
是不是卤素灯加热功率控制单元与晶振片干扰了,单独接地线???
发表于 2009-6-28 12:59:17 | 显示全部楼层
谁来具体解释下PID的 工作原理
发表于 2009-6-30 18:56:17 | 显示全部楼层
这个温度对晶体的速率影响还是很大的,我觉得实际上是热冲击造成的,下烘烤加热不稳定,肯定对速率的变化有影响,一方面你可以调节PID设定,还有在晶体的附近想些办法,最好不要让热辐射直接照在上面.
 楼主| 发表于 2009-7-2 17:52:06 | 显示全部楼层
同意8楼意见。我们之前也有这样的问题,不过在机器验收的时候就解决了!
要调烘烤温控仪的PID参数!我们是把I调大,把D调小,后来就稳住了。
你可以边调边试,只要达到预设温度之后,晶控的速率不乱跳就可以了!! ...
lsnanjing 发表于 2009-6-23 21:49

PID进行过多次调整,没有多大效果,问题应该不是在这方面,因为工转不开,一切正常!
等更换工件盘后的结果吧。但愿能够解决!
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