平行度测量

wayne · 发表于 2003-12-13 01:15:00

碰到这样一个问题,Cr:YAG一面镀有高反膜(可见光波段均高反),该如何测量其平行度(样品直径2mm),请指教.

hai-tan · 发表于 2003-12-13 04:27:00

这问题我也遇到，麻烦，试一下干涉法

yangxm · 发表于 2003-12-15 23:30:00

我有一个办法，你可以试用一下：用比较法测角仪来测，在盛物台上放一个平面样板（两个平面的十字线应重合），将镜筒的十字线与其对齐，将样板取下后，再将零件放上，零件与镜筒十字线的误差就是平行度。我用这种方法加工的长方体可以达到零点几秒（经过仪器测量）

wayne · 发表于 2003-12-16 18:20:00

谢谢你的回复,这种比较测量法我在别的样品的测试中早就采用过了,但对此法不太适用.一是像有多重,无法区分.二是两面对调后测量结果相差太大.另干涉法也无法测.再次求救.

yangxm · 发表于 2003-12-18 22:23:00

应该不会有多余的象，零件表面镀高反膜，另一个面的象不会出现，所以应该只有被测面的象才对，你看是不是盛物台上的象反射出来的，如果是想办法把它消除。

xyqy · 发表于 2003-12-21 07:28:00

应该不会有多余的象，即便是有，也很容易把它排除掉的。
你应该自己亲自去操作，就可以把影响测量的因素排除掉，得到准确的测量结果了。

wayne · 发表于 2003-12-23 01:36:00

两面如果颠倒过来测试结果偏差又特别大.我分析如果高反面朝上,膜层本身也有像,是否?

yangxm · 发表于 2003-12-24 18:48:00

是的，膜层本身是有象的，但是它的反射象和抛光面的反射象亮度是不一样的，可以通过试验对比找出加以区别。

lzk · 发表于 2003-12-24 21:30:00

吴经理，这种片子以前我有见过很多次，镀完后很难测的很准，只能抛光后进行测量。如果是高反面朝上的话，零件表面镀高反膜，另一个面的象不会出现，如果是朝下的话会有重影。准确度很难达到。你可以用ZYGO测量一下抛光和镀膜的误差值有多大就会比较好判定了。