镀膜IR 红点问题

hannibal159 · 发表于 2009-5-21 18:38:41

使用SIO2 TIO2    G/A（0.5lh0.5l）^8  B(0.5lh0.5l)^8/A    IR CUT OFF FILTER

SIO2方形蒸发面积  25a/s TIO2点状蒸发面积 5a/s 单枪180度转向  预热300度  镀膜温度280度  电子枪电压7KV SIO2电流160-180MA TIO2电流200-240MA
O2使用 ION不使用 SIO2真空度8EX-5Torr    TIO2真空度1.4EX-4Torr

真空系统组合：机械泵+罗茨+双DP

GLASS  肖特D263T 材料不错

监控方式:晶振片IC/5

镀膜中，真空度稳定，速率比较稳定，光斑耀点正常，冷却水正常，机台亲自打扫（洁净），电子枪电压电流无异常，I/C5晶振片正常。冷凝器正常。电压电流正常。

镀膜后，产品光谱正常。。。外观异常，有雾状小白点，1微米级的，均匀分布，看似灰蒙蒙一片。。
而且伴随有红点出现，有红雾状，均匀分布。

注：本公司使用韩一镀膜机人工手动预融TIO2颗粒状到块状，坩埚为水冷铜坩埚，边缘存在融化现象，因为反复预熔药品导致。

分析：1.可能是隐藏于DP与真空室开关下的冷凝器污染，DP开关密封圈严重污染
   2.与真空室相连的关键部位未清洁，未擦真空油。
   3.可能有CU大颗粒原子团，或者混合TIO2，粘接到产品膜层
   4.可能电子枪电流电压过大
   5.真空计指示不准确，需要校正
   6.加热灯存在放电现象其他裸线部位可能放电
   7.金属温度感应探头失灵

结果：无任何改善。。。。。。。晕了

怀疑点：1.故障机台镀膜后，TIO2药品打的比平时要多，损耗量比以前大，余量有点少
      2.故障机台的截止点不稳定，同样的程序，总是在透过率OK的情况下出现10NM的截止点上漂，例如，该程序设定650NM的截止点，但是却可能出现660-670NM的截止点，但是光谱透过率无异常，甚至比故障前要平稳的多。RIPPLE很小。

hannibal159 · 发表于 2009-5-21 18:43:26

红点都一个月了我现在时望点兴叹啊求救本人对镀膜基本不懂以前是品管的

fql3310 · 发表于 2009-5-21 19:54:21

问题出在膜料污染上面.
SIO2不要太大的蒸发速率,10埃/秒,碎料不好或干脆用块料.解决了雾状小白点.
TIO2膜料不好,容易出红点(容易过热或失氧),或干脆用TA2O5.

fql3310 · 发表于 2009-5-21 20:05:36

最好要有离子源.清洁干净的离子源,起码要用瓶装氮气吹一下.

hannibal159 · 发表于 2009-5-21 20:45:44

问题就在于 ION是坚决不用的而且使用的就是SIO2块料纯度99999的无语了

居然一再出现红点全面均匀分布很吓人的

fql3310 · 发表于 2009-5-21 22:27:29

那就是TIO2膜料污染了,改善改善一下膜料的清洁问题吧,不然换TA2O5吧.

killjackson · 发表于 2009-5-22 08:01:36

三楼的意见很对，LZ仔细查下。

zzzz · 发表于 2009-5-22 08:25:53

TIO2料上下点工夫..................................

章钱国 · 发表于 2009-5-23 10:59:31

再看看，氧气是否正常

宇宙深处 · 发表于 2009-5-23 11:12:10

楼主的敬业精神令在下佩服！！！！！！！！！！学习了！！！！！！！！三楼有道理！！！！！！

molang2003 · 发表于 2009-5-23 16:00:36

零件基底的清洁度确认了没呢？

jhxxmlhk · 发表于 2009-5-23 20:27:53

先用我买的那些Mo坩埚预熔下TiO2再镀IR实验下，有做技术的潜力，以前我怎么没发现呢，呵呵。

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