有关磁控溅射的问题

jiaofuyun · 发表于 2009-6-21 17:32:58

为什么直流磁控溅射只能镀金属，射频磁控溅射导体非导体都能镀，为什么射频速率低于直流溅射的十分之一？？？？

dave327 · 发表于 2009-6-22 10:48:07

陶瓷材料的靶材，如果不用射频的话，镀膜膜层的附着力会有问题的。所以使用射频来加强镀膜是离子的冲击能量。

jhxxmlhk · 发表于 2009-6-22 20:02:05

最近我也在研究这些东西

C直流、直流脉冲、RF、中频等。找了点资料共享给大家。

zzzz · 发表于 2009-6-23 08:23:31

直流的镀介质会中毒地

007foxhot · 发表于 2009-6-23 10:51:33

学习学习~~~~~

lnliwenchao · 发表于 2009-6-25 18:00:46

为什么不能够哦下载呢，怎么回事呢

lixuefeng · 发表于 2009-6-28 21:10:25

谢谢！！需要这样的知识

lixuefeng · 发表于 2009-6-28 21:15:45

不好意思！要下载！！！

gxbm · 发表于 2009-6-30 08:52:59

了解一下。。。。

nike777 · 发表于 2009-9-9 08:21:46

好东西，大家一起来学习

nike777 · 发表于 2009-9-9 08:23:35

好东西，大家一起来学习