楼主: jixiaoming

膜层老是脏,咋个回事呢

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 楼主| 发表于 2009-8-10 09:55:50 | 显示全部楼层
哦,是膜层掉了,留一个小块,就没有膜
是基板脏了么
发表于 2009-8-10 15:45:59 | 显示全部楼层
我觉得六楼和九楼说的在理
发表于 2009-8-10 21:42:33 | 显示全部楼层
真空室太脏了吧!!!!!!!!!!!!!
发表于 2009-8-12 20:35:18 | 显示全部楼层
看口音象是云南人......
发表于 2009-8-13 12:55:38 | 显示全部楼层
局部掉膜可能是基板问题............
 楼主| 发表于 2009-8-14 11:25:31 | 显示全部楼层
就是小圆点
有时候,是脱模
发表于 2009-8-14 16:55:52 | 显示全部楼层
针眼???????????????????????????????????
发表于 2009-8-16 13:43:57 | 显示全部楼层
扩散泵返油吗?
圆点,另外还整片脱膜
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