（讨论）镀膜设备的加热原理与方式

sunyan · 发表于 2009-10-13 08:35:18

（讨论）镀膜设备的加热原理与方式
在我们使用的镀膜设备中，不管是哪种设备可能都会牵涉到给基片加热或者给腔体加热，或者让反应气体受热的过程，从而实现在适当的沉积温度反应或者沉积或者退火等功能。那么我们通常使用的加热和冷却方法有哪些呢，各有什么优缺点呢？
比如常用的有焊铝，铸铝，硅板，陶瓷，石墨，云母等加热板这样的heater加热方式
比如常用的钨灯，疝灯，红外灯等光学辐射的方式
比如常用的低频，中频，高频等感应加热方式
还有我们有的时候还要采用气冷，水冷，自然冷却等方式控制降温速率，这些的优缺点希望大家发表讨论

snscm · 发表于 2009-10-14 21:26:42

期待高手解答中....................................

sunyan · 发表于 2009-10-15 20:45:56

真的就没人亮亮吗？？？？？？？？？？？？？？？

（讨论）镀膜设备的加热原理与方式

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