Ta2O5的特性

molang2003 · 发表于 2009-10-17 17:49:41

这几天在做Ta2O5这种膜料的工艺。工艺做下来，药材的折射率550nm时，在2.13～2.16之间。但测试片透光的吸收率特别的高。所以在这想问下各位高人，怎样来克服它的吸收率呢？谢谢了

做的时候条件为：电子枪蒸发，电流为400mA，没有离子源，室内温度为340℃，充氧压为1E-2Pa（不充氧结果也照样还是吸收）

sanma · 发表于 2009-10-17 20:31:53

用什么机子做的，可能失氧，可以镀慢一点，因没离子源，速率可以控制在1~1.5埃/秒左右，氧压1*10-2Pa差不多。

水边鹤 · 发表于 2009-10-18 11:52:39

氧化钽失氧不是很厉害，测一下成分看是不是失氧了再说

molang2003 · 发表于 2009-10-19 08:50:33

谢谢了！我去试一下。