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哪位达人可以告知zygo上的PV, RMS, PWR, IRR分别是什么?

 火... [复制链接]
发表于 2009-11-25 08:27:05 | 显示全部楼层 |阅读模式
哪位达人可以告知zygo上的PV, RMS, PWR, IRR分别是什么? 哪个代表面型精度中的1/4 lambda? 谢谢.
发表于 2009-11-25 11:54:32 | 显示全部楼层
这些都是表示了实际波阵面(或者光学表面)偏离理想球面波(或者理想光学表面)的大小,单位通常是波长或者光圈数。
PV:峰和谷的偏差,也是最大偏差的绝对值
RMS:均方根值
PWR:光圈(牛顿环)
IRR:波前(表面)的不规则度,也可以说是局部光圈

1/4lambda通常指的是最后一个。
 楼主| 发表于 2009-11-25 12:22:56 | 显示全部楼层
真是高手. 不过还有一些问题, 因该是很业余的问题了:
1. 为什么zygo无法测量球面的PWR, 我听检测的说, 无法测出, 所以显示的PWR值无意义.
2. 有时候看到衡量窗口片, 棱镜或晶体的指标为波前误差, 这和面型精度一样吗?
3. 表面平整度怎么会用来衡量球面??? 而且单位也是lambda, 这和IRR一样的原理?

非常感谢badan的帮助.
发表于 2009-11-27 23:09:15 | 显示全部楼层
⒈ PWR(光圈)是相对于检测样板来说的,对于Zygo来说,的确意义不大;提供这样的数据,恐怕仅仅是为了和常规的样板检测进行对照而已;
⒉ 窗片,棱镜和晶体的波前误差,通常指的是综合透过波前差,已经综合了光学表面的面形和材料的缺陷造成的波前畸变
⒊ 如果非要用“表面平整度”来衡量球面,也未必不可,毕竟平面只是球面的一种极限情况
 楼主| 发表于 2009-11-28 13:03:25 | 显示全部楼层
受高人指点, 真是豁然开朗.
还有不懂得地方, 我想再做10年一点会懂.
发表于 2013-5-8 21:21:54 | 显示全部楼层
学习中!!!!
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发表于 2013-5-8 22:57:53 | 显示全部楼层
不懂的,不要瞎说。
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发表于 2013-12-19 14:16:23 | 显示全部楼层
badan 发表于 2009-11-25 11:54
这些都是表示了实际波阵面(或者光学表面)偏离理想球面波(或者理想光学表面)的大小,单位通常是波长或者 ...

我看到的很多图纸上的1/4lambda通常指的是PV~~啃爹的图纸 有些PV还要求低一点1/2λ
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发表于 2014-1-4 22:09:48 | 显示全部楼层
瞎说的,,拉出去,,,切割了
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发表于 2014-6-20 08:15:05 来自手机 | 显示全部楼层
一同学习一下
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发表于 2014-7-8 08:43:53 | 显示全部楼层
学习学习
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发表于 2020-6-5 08:58:25 | 显示全部楼层

正好遇到这方面的问题,baidu都能连接到这里,优秀,学习了。
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