fulong927 发表于 2010-7-1 16:35:45

用没用离子源，有时离子源打火会出现这种问题，特别是霍尔源。

kushen 发表于 2010-7-5 15:18:02

sunmang 发表于 2010-10-22 09:00:07

是不是膜料出的问题啊

lukaiyan 发表于 2010-10-30 16:20:19

检查一下氧气量

nongyuanfeng 发表于 2010-10-30 22:34:05

{:6_143:}

xtgdgxf 发表于 2010-11-3 09:15:32

这可能与环境空气中的湿度有一定关系

ychm1002 发表于 2010-11-3 09:36:45

如果用了离子源，清洁下离子源

宇宙深处 发表于 2010-12-10 09:54:53

其实原因会很多，真空度；膜材蒸发速率；腔体洁净度；离子源的输出功率；基片的洁净度；粗抽气时腔内空气扰动。还有~~等等{:6_178:}

qqucqquc 发表于 2011-2-12 23:57:22

如果是原来没有，突然出现的白雾，可能与光坯处理不当有关了

jingping 发表于 2011-2-13 16:47:10

1. 首先确认一下夹具是否清洁干净. 烘烤了
2. 你的基体是擦拭的还是超声波清洗的.要区分清楚. 检查的时候看看是否有水渍残留
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xcy1075 发表于 2011-2-13 20:54:27

{:6_140:}是用夹具,还是用胶带粘的,认真看一下也说不定是离子源的能量和夹具产生的火花
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查看完整版本: 镀出的产品有白雾，求助！！！！！