devilmc23 发表于 2010-6-8 08:50:42

我总觉得这个跟环境还有真空度关系比较大。。。不像基底腐蚀。。。

caidajun300 发表于 2010-6-9 10:28:40

确认一下真空计测量是否准确。

new1980 发表于 2010-6-13 12:12:33

发雾，没事

JZNT 发表于 2010-6-14 14:38:50

整个表面都是白的，没法使用呀。

leicd 发表于 2010-6-18 16:35:18

ZK9也很容易出现这样的白雾，不知是为何？

zzzz 发表于 2010-6-22 08:29:04

那就是材料问题,就是光学加工的问题了

JZNT 发表于 2010-6-22 13:51:13

材料和基片在别的机器上都是没有问题的！

baron 发表于 2010-6-23 08:56:16

是不是一块一块的

JZNT 发表于 2010-6-28 16:07:11

是环形的，{:6_151:}

zzzz 发表于 2010-6-29 08:09:31

如果同样的材料在其它设备镀没问题,那就是你设备电子枪\离子源的问题了

z1206l 发表于 2010-6-29 18:35:37

楼主的问题解决了吗？

镀膜前清洗和镀膜腔的洁净度，真空度有很大嫌疑啊。

JZNT 发表于 2010-7-1 08:48:53

我们也怀疑真空有问题，但是检漏没有发现有漏的，而且真空显示是好的。
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