jackonlee 发表于 2004-2-23 17:09:00

测平面度

有DAXIA用过 wyko RTI 4100/6100干涉仪吗?我想知道它可以测平面度吗?怎么测量?谢谢!

guangxuehao 发表于 2004-2-23 18:27:00

测平面度

测平面度不是很难呀!!用样板或干涉仪均可!!

jackonlee 发表于 2004-2-23 19:47:00

测平面度

我知道呀!可使用样板的精度不够,我们这里有好几种测量的仪器,可是没有说服力。既然有Veeco公司的仪器为什么不用呢?那样才有说服力,是销路更好。

lczhy00001 发表于 2004-2-23 22:09:00

测平面度

干涉仪竟然不会用“??????????

jackonlee 发表于 2004-2-23 22:31:00

测平面度

由于它的程序太复杂,适用范围广。我们这里一直用来测量光学均匀性,不过我觉得干涉仪应该可以测平面度。是Veeco wyko RTI 4100 laser interferometer

guangxuehao 发表于 2004-2-24 05:37:00

测平面度

干涉仪不用,那你用什么测量平面度,那可是最高精度的仪器呀!

laowupo 发表于 2004-2-24 10:47:00

测平面度

你把镜头拿掉,再把需测平面度的物件放在检测台上,调整他们的距离,试一下
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