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光学镀膜技术及膜系设计
› [求助]退火对膜的影响
slyz
发表于 2003-6-17 18:46:00
[求助]退火对膜的影响
“在SiO2衬底上生长的多晶硅薄膜,经脉冲退火后晶粒的择优取向变成〈100〉晶向
”
该怎么解释阿?
slyz
发表于 2003-6-20 18:09:00
[求助]退火对膜的影响
实验的,理论的,都可以呀!
ic5
发表于 2003-6-20 18:46:00
[求助]退火对膜的影响
没做过!
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[求助]退火对膜的影响