slyz 发表于 2003-6-17 18:46:00

[求助]退火对膜的影响

“在SiO2衬底上生长的多晶硅薄膜,经脉冲退火后晶粒的择优取向变成〈100〉晶向

该怎么解释阿?

slyz 发表于 2003-6-20 18:09:00

[求助]退火对膜的影响

实验的,理论的,都可以呀!

ic5 发表于 2003-6-20 18:46:00

[求助]退火对膜的影响

没做过!
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