michaelzhj 发表于 2004-2-17 05:01:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

各位大侠,我有一个问题求教:
由于市场上没有双面抛光的Si基片,所以只有在一面抛光的Si基片上镀制光学薄膜,但是我又想测试薄膜的透射率,单面抛光的Si片由于散射很严重,所以透射很小,肯定得不到薄膜的真实透射率.

我该采用什么办法获得薄膜的透射率.
谢谢您的指点,我很迷茫.我的电子邮件是:michaelluvzhj@hotmail.com

michaelzhj 发表于 2004-2-17 06:09:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

我的问题这么难吗,大家都没有回音,我想你们啊

ic5 发表于 2004-2-17 20:52:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

能否测试镀膜后的反射,从而看作理想的透射率,虽然这样不太真实,但对于高透过来说,测试其反射更直接!

michaelzhj 发表于 2004-2-17 22:51:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

论坛斑竹给予我的建议,就是忽略了反射吧,颇有新意,决定一试!
如果好使,我通知你。

ic5 发表于 2004-2-17 23:29:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

谢谢,等待你的好消息,如果还有什么问题,愿意交流!

michaelzhj 发表于 2004-2-17 23:59:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

其实对于这个问题,我有一个更大的疑问:

如果仅仅依靠反射率来推测薄膜的透射率的话,我更可以直接依靠其试样总的透过率来推测啊,而不管这透射率到底有多高,甚至10%都行,这更能够显示出来薄膜透过率的规律。

你知道这反射率和透过率之和为1,这样得出的结论不恰恰矛盾了吗?

wazxq 发表于 2004-2-18 00:11:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

我看到你说的单面抛光,又能测试透射,莫非另外一面也能透光了
这样的话,测试反射也是不准确的呀。
在SI上,是不是远红外波长啊。您的镀膜材料可能有吸收,以反射推透射意义不大

你不如在镀好的片子上,将另外一个面抛光一下,做个实验

michaelzhj 发表于 2004-2-18 00:30:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

另一面没有抛光,但我想,这多多少少也能够反映薄膜透射率的规律吧,即使很低很低。
我所做的波长范围在8到11.5个微米
关键是薄薄的硅片,很脆,禁不住再次抛光(这可能也是市场上没有双面抛光的si片的原因吧),并且我镀的膜很薄,只有0.5个微,几乎在厚度上无济于事,这可怎么办?

Jesus 发表于 2004-2-18 01:02:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

朋友,你可不可以考虑在其他折射率基底的陪片上镀同样的膜系,然后根据该陪片的测试曲线针对基底折射率进行曲线的拟合,从而判断膜的指标呢?

michaelzhj 发表于 2004-2-18 01:30:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

不同的基片镀出的薄膜各种性能也肯定不一样的,您说的拟和我还不是太了解,能详细说一下吗,谢谢你了。我的主耶稣啊!呵呵

michaelzhj 发表于 2004-2-18 01:43:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

您说的是陪片,很好的建议!但这样容易运用数学手段进行拟和吗?

zhchqphchz 发表于 2004-2-18 02:01:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

我有一个拙见:可能的话,先测出未镀膜情况下的同厚度的硅基片的透过率情况,再在同样的情况下测出镀膜后的透过率,据此可得膜的透过率。这种方法忽略了光在硅基片与膜的界面处的可能的散射。在散射不太大的情况下,可能行。
这只是我的拙见,不知是否行得通。
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