Oracle 发表于 2004-4-25 09:24:00

：★一个薄膜问题★

<P>我想知道有什么简便又比较廉价的方法，实时测量和控制薄膜生长时的膜厚?
(我现在是在一般的光学玻璃上镀铝膜)</P>


<P>先谢了！</P>

Oracle 发表于 2004-4-26 06:37:00

多谢！
<P>我这个大概需要精确到nano级，想在现有真空镀膜机上加装，可否再给点思路？</P><P>晶控大概成本多少？
另外，我现在镀的是铝膜，可要是改镀别的贵重点的东西，那测个蒸法速率就费老钱啦，^_*
而且蒸发速率也受环境影响啊.....</P>

eagle1 发表于 2004-4-25 22:21:00

<P>好像你不打算采用晶控. 我觉得你是不是可以按你设定的参数沉积薄膜,然后用台阶仪测试一下,这样可以知道大概的蒸法速率.但这也不是实时测量了.</P>

yin99 发表于 2004-4-25 22:47:00

lbc 发表于 2004-4-26 04:59:00

<P>用眼睛看不透光就OK了！</P>

kent90 发表于 2004-4-26 06:01:00

这要看你用什么设备，如果设备不行，就没有廉价而简便的方法。

yh15430 发表于 2004-4-27 21:09:00

回复：（Oracle）多谢！ 我这个大概需要精确到nano级...

何谓nano?一般铝膜用目视源的亮度即可，要求高的做增强铝膜可解决。

zjtzzy 发表于 2004-5-8 00:17:00

精确到nano级用时间控制即可，不一定要晶控。

michaelzhj 发表于 2004-5-8 19:23:00

<P>陈旧设备的话就没法或者不容易控制厚度了</P><P>可以先求出来沉积速率</P>

littlefun 发表于 2004-5-10 17:39:00

<P>镀一次之后，测量一下，然后用时间控制应该足够了。</P>

马大嘴 发表于 2004-5-11 00:16:00

用光谱卡怎样？？
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