downfallen 发表于 2004-4-30 06:23:00

[求助]请教高手:TiO2脱膜问题!?

<P>相同基底，温度下。ZrO2牢固性达标，TiO2在24小时潮湿试验后小范围脱膜。蒸发速率3.0。请教各位高手</P>

wanhj 发表于 2004-4-30 07:25:00

你用的是什么基才?

cjyzq 发表于 2004-5-1 04:25:00

<P>基底加温到多少度？恒温多长时间？</P><P>蒸发速率应 5A/s。</P>

zheng 发表于 2004-5-1 05:28:00

速度3.0也差不多了,那你放氧量是多少?只镀了单层TiO2吗?

cjyzq 发表于 2004-5-2 01:58:00

放氧量是1X10-<FONT size=1>4</FONT><FONT size=4>。</FONT>

material 发表于 2004-5-2 14:51:00

<P>使用熱蒸鍍嗎…有可能是油氣或是基板有不潔，造成脫膜…</P>

zheng 发表于 2004-5-2 06:42:00

<P>你的单位是Torr吧,一般放氧量不应比1X10-<FONT size=1>4大,你可以把放氧量改为</FONT><FONT size=2>0.8X10-4或0.9X10-4试试，只要膜层不出现吸收就可一直改小放氧量。</FONT></P>

downfallen 发表于 2004-5-2 15:51:00

<P>谢谢各位高手！我用的是K9的基底，加温300度，保持40分钟。e枪蒸镀。氧压3<FONT size=2>X10-2</FONT></P><P><FONT size=2>测试用只做了单层的</FONT></P>

对与错 发表于 2004-5-6 00:29:00

是OSIO吧镀时要在最后一层镀二氧化硅当保护膜才不会氧化

yin99 发表于 2004-5-6 00:57:00

zjtzzy 发表于 2004-5-7 23:45:00

膜层太厚或基片有问题。
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