qhbd 发表于 2004-6-21 17:25:00

氧化物电子束镀膜补氧的方法

氧化物电子束镀膜需要补氧，请问各位专家补氧的方法：补氧的位置是坩锅位好，还是直接补在离子源进行辅助镀好呢？

coatingli 发表于 2004-6-21 17:29:00

<P>最好是两者结合。单纯用坩埚位补氧，就算是膜料完全氧化沉积在基片上，在充氩的离子源轰击时仍然会造成膜层氧化物失氧。</P>

zz 发表于 2004-6-23 18:18:00

不同位置N差不了多少

zz 发表于 2004-6-22 04:47:00

离子氧是最佳的.具体在那个位置,那不好说了.

kuan 发表于 2004-6-23 07:23:00

<P>1.離子氧活性好, 所以結合性佳</P><P>2.通氧管接於坩鍋附近,易造成電子槍鎢絲氧化,簡短使用壽命</P><P>3.不同的通氧位置,藥材反應可能會不太一樣, 得到的N值有會不同</P>

likeoe 发表于 2004-6-23 16:24:00

<DIV class=quote><B>以下是引用<I>kuan</I>在2004-6-22 23:23:44的发言：</B>

<P>2.通氧管接於坩鍋附近,易造成電子槍鎢絲氧化,簡短使用壽命</P></DIV>有直接结果吗？看在坩埚附近的氧的扩散是如何进行的，有可能还增加寿命呢，因为从氧在真空室中的总浓度来考虑，它是降低的。
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