chenlu 发表于 2004-7-23 05:51:00

zernike系数



大家知道，zernike系数在光学评价中有很大的作用，大侠们对zernike系数有何看法请回话。或者那位大侠能对zernike系数有明确的说明啊？或者上传一点资料也好啊



chenlu 发表于 2004-7-25 06:58:00



没有人响应呀？？？？？？



gamehome 发表于 2004-7-27 17:55:00



<P>不知行不行</P>



stevenwu 发表于 2004-7-30 18:17:00



一般不用于像质评价上，主要用于光学测试中。可以参考干涉测试方面的资料



chenlu 发表于 2004-8-2 06:03:00



谢谢大哥



steven78 发表于 2004-8-21 01:21:00

<P>zernike系数是表征光学系统波形差的像质参数，一般的光学仪器检测中是没必要的，只需要校正常用的几何像差就可以了。但是在高精度光学投影物镜中（比如光刻机的投影物镜）像质校正是需要用的到的。</P><P>zernike系数的计算以及物理意义可以在波恩的《光学原理》中看到。zernike 系数是在光瞳面上对波面进行zernike多项式的拟合，拟合的系数就是zernike系数，不同阶数的zernike系数代表不同的像差</P>
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