lh040805
发表于 2004-8-9 18:17:00
材料选对了，就是工艺问题了
kuan
发表于 2004-8-11 21:48:00
<P>影響膜裂的原因很多</P><P>應該逐一作測試才能了解</P><P>試試鍍後作烘烤 可強化膜的結構</P>
wish
发表于 2004-8-11 21:51:00
若烘烤不当，膜反而会裂
likeoe
发表于 2004-8-12 16:24:00
<P>与薄膜的致密度也密切相关，对再次烧烤的薄膜，如果致密性高的话，稍不容易裂</P>
wtd
发表于 2004-8-12 19:04:00
是膜镀得不牢吧！提高温度试试！
flyinlove79111
发表于 2004-8-14 03:34:00
把蒸发速率降低点看看，还有取零件时，温度降到到常温了没有？
kingman
发表于 2004-8-14 05:47:00
原因很多，应该还是导致应力过大。有时候是随机的问题。
chugqchugq
发表于 2004-8-23 17:52:00
边缘效应造成的.
ZHE910
发表于 2004-8-25 19:11:00
请问ito镀膜时裂膜是什么原因？用的是直流磁控溅射
xiaohe
发表于 2004-9-10 23:55:00
我个人觉得应在前期把问题尽量解决，防患于未然啊．先期解决清洗的问题和真空洁净度问题．就洁净度而言应该提高真空度和防返油，加深冷设备能解决．国产机很难做到，原因是未把深冷设备作为标配，镀稍高要求的膜就会出现这儿哪儿的问题．我做真空应用深冷设备的０５５１５３２９１９５何
linmaco
发表于 2004-9-12 07:42:00
<P>一种是选择与基底材料附着力好的膜料，</P><P>另种是从基底洁洗下手，</P><P>三是镀膜工艺改进，膜层越多应力越大，基片厚薄都很关键，国产机做IR-CUT滤光片0.3mm玻璃上镀膜难度就很大，设备等因素，</P><P>四是环境影响，</P><P>个人见解多多指教！</P>