扩散泵能进-5的话，那就是真空室箱体有问题，没有办法的慢慢找啊。
楼主搞定了记得跟大家通报一下啊。同情中。
检查放气阀、低阀的密封圈
{:6_140:}
因为这台镀膜机用了好多年的缘故，放气阀低阀高阀等密封圈都老化开裂了，但在更换新的密封圈后，也没有什么变好的倾向。因为就像我在楼上说的，不管是动氧气接口还是动泵还是动放气阀高阀，似乎都有效过，所以导致我完全不知道到底真的问题出在哪里。
你镀膜机的真空系统和扩散泵系统不是同一个机械泵的.真空系统连接机械泵是用金属管连接的吗?
fql3310 发表于 2011-10-21 21:04 static/image/common/back.gif
你镀膜机的真空系统和扩散泵系统不是同一个机械泵的.真空系统连接机械泵是用金属管连接的吗?
嗯，对的，是用金属管连接。不过你说的不是一个机械泵是什么意思呢？我只有一个机械泵啊。
建议楼主用排除法。
根据描述特别是充气口，把充气阀拆掉，用堵头封死。
如果还漏，就是别的地方。
谢谢，排除法我用过了，充氧口子堵过，放气阀也堵过。最郁闷的就是，都是似乎有效。
楼主每次所动过某一地方之后真空就好了其实只是假象而已，换言之，你什么地方都不动，重新抽一次，可能真空也会有变化的（可能会突然变好），那么你就应该知道要检查哪些部位了。。。
{:6_157:}但之前的情况又不是完全如此，有的时候不管几次都抽不下来，非要动一下氧气接头或者放气阀才可以。
这几天就是这样了，抽第一炉真空时，抽不下来，然后抽第二次，真空就下来了。已经连续4天这样了，再持续观察3天就满一周了，如果还这样，我就只能认了，每天早上多抽一次。
暂时的怀疑，是扩散泵的油温不够高。这几天天气冷下来了，电炉都不热了。。
哎，你还是个新手，这些都搞不定？多想想。
暂时的怀疑而已。电炉本来冬天的热度就会低一些，没那么烫人啊。之前出问题的时候，可是从中秋开始，那时候还热的要命。
还没搞定啊？？悲剧了，你要崩溃了。