{:6_151:}现在好了吗？我的机器也是这样的，不过我知道原因，一下就搞定了，不知道你的和我的情况是不是一样，加我QQ：1443415201
精诚光学 发表于 2012-5-27 13:24 static/image/common/back.gif
现在好了吗？我的机器也是这样的，不过我知道原因，一下就搞定了，不知道你的和我的情况是不是一样 ...
好了，莫名其妙就又好了。。。。个人猜测也许还是清洁度的缘故。我的QQ是241576438
真空检有问题？
其实要是你们公司有安装RGA（气体成分检测），那什么问题就全知道了！！
{:6_140:}那太高级了。。。配俺的国产镀膜机很浪费，所以老板不买。
真羡慕你们的镀膜机啊，都武装到牙齿了。
我的经验是，如果你动这动那，真空忽好忽坏，那一定是没有找到真正的原因。如果找到原因，一下就应该搞定。真空镀固定在某个数值上，怎么抽也没用，时好时坏，那一定是漏气。我的机器就是这样，上次找半天找不到。结果发现是扩散泵观察窗玻璃漏气。换了密封条马上好了。你要查查是不是所有的可能的漏气点都查到了，有没有漏网之鱼。 什么挡板、电极、晶振片水管等等都要查到。
xvchuan 发表于 2012-5-31 15:40 static/image/common/back.gif
我的经验是，如果你动这动那，真空忽好忽坏，那一定是没有找到真正的原因。如果找到原因，一下就应该搞定。 ...
嗯，是的。我那几个月几乎是给镀膜机全身都洗了次澡，但还是没找到。
镀膜机的症状并不是说抽真空抽不上去，而是抽真空的速度变得非常的慢。例如说原本到10^-2pa要15分钟，现在却要50分钟，但最终还是能抽的上去的。
但最终镀膜机又莫名其妙自己好了，是在对工转盘进行了一次维修之后。所以我想是否是因为一些缝隙处的灰尘碎屑等吸附大量的空气导致了抽真空的低效率？
这种现象会不会是你的阀门有问题？例如放气阀？
我们近期也是有问题，把放气阀换了就OK
会不会是VGC403中参数设置有问题啊
非常谢谢大家对这个问题的讨论，但我想最根本的原因，应该还是因为镀膜机使用年限过久，各个部位都或多或少老化的综合原因吧。机械泵老化，工转盘磨损，氧气接头磨损，阀门磨损，橡胶垫圈脆化，真空室内表面氧化变粗糙，真空室内死角堆积灰尘，机油老化速度加快，扩散泵油温不足，测量仪器出现偏差。。。都可能会出现抽真空速度变慢的情况。
靠 以前我们也遇到类似的问题，把整个设备都拆了遍，各个阀门什么的，有次最高把扩散泵拆了差不多三遍，那可真累啊{:6_154:}最后实在是没办法了找了家设备维修公司用质谱仪检测才搞定的。这玩意也太折腾人了对楼主的遭遇也是身有体会的{:6_154:}
{:6_143:}