追风男子 发表于 2011-12-14 02:12:40

离子源与镀膜

我厂新进了一批现代蓝光镀膜机 与之配套的是 中科九章 离子源
没有离子源的时候总觉得膜层不牢 .
有了离子源后 总觉得用了离子源后膜色不均匀
与投气量有关 ?
与离子源摆放位置有关 ?
如果投氩气 气量因该多少为好呢 ? <SCCM>
不用氩气 只投氧气 又该定位多少为好呢?

追风男子 发表于 2011-12-14 02:28:32

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追风男子 发表于 2011-12-14 02:28:59

上传错了...

追风男子 发表于 2011-12-14 02:29:17

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E501559 发表于 2011-12-14 08:37:35

氩气充多少、离子源的在真空室内安装的位置和离子源角度是很重要的.
你们那个中科九章的离子源 说明书上没有设定要求的吗？

缘睐汝痴 发表于 2011-12-14 11:21:37

关注中……

fql3310 发表于 2011-12-14 11:26:19

还是仿照APS源吧,下用氩气,上用氧气.这样阴极的钨丝不易氧化.充氩气选好流量让离子源能稳定工作,然后再加氧气管加氧气.

jiayuch 发表于 2011-12-14 11:28:04

调了均匀性了？ 镀膜过程中离子源稳定吗？

追风男子 发表于 2011-12-14 15:11:23

E501559 发表于 2011-12-14 08:37 static/image/common/back.gif
氩气充多少、离子源的在真空室内安装的位置和离子源角度是很重要的.
你们那个中科九章的离子源 说明书上没 ...

严重怀疑每次来的都是销售人员对于技术方面貌似不是很了解 摆放位置还在调试中 ....

追风男子 发表于 2011-12-14 15:13:32

fql3310 发表于 2011-12-14 11:26 static/image/common/back.gif
还是仿照APS源吧,下用氩气,上用氧气.这样阴极的钨丝不易氧化.充氩气选好流量让离子源能稳定工作,然后再加氧 ...

现在基本上能稳定工作 充气量不能太多 阴极钨丝易氧化 定期清理离子源的情况下还是能稳定工作的 就是膜色不均匀 ..

良哥 发表于 2011-12-14 18:52:28

此离子源阳极电流是不有时候加不起来，清洁一下会好点

良哥 发表于 2011-12-14 18:53:11

直接把“碗口”对准晶振探头就可以吧
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