xiaojiang007
发表于 2011-12-23 19:38:37
铝膜发黑是什么原因
最近做这个膜老是发黑 是什么原因啊我是的是用电子枪蒸发 石墨坩埚进行蒸镀 温度100度 速率还行 我现在分析可能是我的速率还不够快我的真空度是1.7*10-3pa谢谢大家 给点思路
coaterxf
发表于 2011-12-28 15:56:55
速率要到6nm/Sec以上。
xiao2011
发表于 2011-12-28 16:38:55
{:6_143:}
xiaojiang007
发表于 2011-12-30 19:28:33
问题解决了改用石墨坩埚.加快蒸发的速率 就可以了 感觉速率很重要
缘睐汝痴
发表于 2012-1-10 18:35:16
学习了
gxfdllg
发表于 2012-3-15 14:34:31
看下材料是不是老料太多及时更换新料，监控是不是有效监控材料的实际厚度，镀膜真空度变化大不大！
diaodiao315
发表于 2013-2-18 17:13:48
学习学习，以后验证下！再问石墨坩埚的使用情况、寿命的情况是啥子样子？
chao_li0622
发表于 2013-2-21 09:47:00
学习
linna9222
发表于 2013-6-19 11:12:11
温度100度？不高吗？
wugaoling688
发表于 2013-6-24 12:40:11
速率很重要
maray
发表于 2013-6-25 17:01:10
{:6_145:}{:6_178:}
SKY520
发表于 2013-7-7 23:31:11
学习中