xiaohuilee 发表于 2012-2-17 22:08:13

机器出问题了，但是找不到问题点，请各位帮忙看看问题点在哪里，不胜感激

昨天由于作业员在操作过程中操作不当，导致真空仓内漏水，待我将其处理之后，开始镀膜。可是在镀TI3O5的时候出问题了，水晶监控时候其速率在1.7-2.3A左右，设置的是5A，改变设置RATE也没有用。由于速率太低导致电子枪电流不断上升，我们的镀膜电流时530MA，电流升到快700的时候就跳掉了，且速率还是也没有随着电子枪电流的上升而上升。

我又试了SIO2的镀膜一切正常，就是TI3O5出现了问题。下面是我排查的问题点
1，将电子枪重新保养一遍
2.将水晶更换至新的
3.将光斑重新调整（因为电子枪坩埚也卡死了，重新校准一次）
可是问题还是如上解决不了，且经过判定不是以上的问题。可是就是找不到问题点。请各位专家们帮忙看看到底是哪个方面出现了问题。

愿意送50个银币作为赠送，虽然不多，也算一份心意。再次谢过

想夜的雨 发表于 2012-2-17 22:08:14

把膜料重新换新的吧，由于湿度大，速率上不去

JINFENG215107 发表于 2012-2-18 08:24:50

你确定漏的水都解决了？还有会不会是漏水把电子仪表给搞坏了。

伏兰克 发表于 2012-2-18 14:39:14

看看电子枪三相电是否缺相电

伏兰克 发表于 2012-2-18 14:42:33

看看电子枪三相电是否缺相电

xiao2011 发表于 2012-2-18 17:49:46

{:6_143:}

cms8334426 发表于 2012-2-20 08:44:06

漏水修好了，可以用高温烤下，再不然换种材料试试？

fiber01 发表于 2012-2-20 08:56:54

坐等高手。

嚣张づ营长 发表于 2012-2-20 14:51:30

应该是离子源那里出问题了,请检查下!

xiaohuilee 发表于 2012-2-21 18:50:06

谢谢各位的解答，现在已经将问题解决了。谢谢 谢谢

wg100199 发表于 2012-2-24 16:09:02

膜料换新的喇嘛？另外漏水前后真空抽速一样吗。如果水汽大一样会影响的。

shuangzixing 发表于 2012-2-28 11:59:10

楼主问题解决了可以分享一下是哪个原因产生。谢谢
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