vietti 发表于 2004-8-26 17:31:00

如何测量几个nm薄膜的厚度？

<P>rt</P>

coatingli 发表于 2004-8-26 18:35:00

试试用原子力显微镜！

yh15430 发表于 2004-8-26 19:27:00

回复：（vietti）如何测量几个nm薄膜的厚度？

<P>测量的目的是什么？</P>

sswh 发表于 2004-8-26 20:32:00

<P>几nm是台阶仪的误差范围了，多测几次看大概的厚度应该可以吧</P>

zhangqf2000 发表于 2004-8-27 18:34:00

<P>不知测这个的用处和目的，镀膜机里是用晶控来测膜厚的。</P>

wish 发表于 2004-8-27 21:58:00

晶控的测量精度没有这么高吧？？？只能是大概值

lh040805 发表于 2004-8-27 22:52:00

<P>晶控可能比光控精确多了啊，晶控的单位是埃，加上操作误差，在几纳米之内应该差不多啊</P>
<P>光控是个大概还差不多啊</P>

ippsong 发表于 2004-8-27 23:05:00

用橢偏儀應該可以吧.
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