WENJINGREN 发表于 2012-5-8 16:36:29

膜强度求教

最近镀R较小的凹面不瞅玻璃镜片时，膜强度不够，边缘膜脱落，请教各位同仁产生的原因及解决方法。先谢谢各位了。

强子 发表于 2012-5-10 11:37:43

有用离子源吗？温度、速率、O2是多少？

WENJINGREN 发表于 2012-5-11 10:54:02

有用离子源,温度260度、速率3-5、O2是多少8.0*10-5troo

WENJINGREN 发表于 2012-5-11 10:56:56

有用离子源,温度260度、速率3-5、O2是8.0*10-5ttorr

WENJINGREN 发表于 2012-5-11 10:58:19

强子 发表于 2012-5-10 11:37 static/image/common/back.gif
有用离子源吗？温度、速率、O2是多少？

有用离子源,温度260度、速率3-5、O2是8.0*10-5ttorr
页: [1]
查看完整版本: 膜强度求教