syg00120001
发表于 2004-9-9 00:58:00
設計的膜厚．．．監控的膜厚．．．基板的膜厚．．．是不同的
超级狐狸
发表于 2004-9-9 01:05:00
设计的膜厚理论上应该和基板的膜厚相同吧？
showashinku
发表于 2004-9-9 01:08:00
<P>对与光控，若要使镀膜曲线与设计曲线一致，最好的方法便是抓准膜材的折射率</P><P>就是使实际的折射率与材料固有折射率尽量一致</P>
zz
发表于 2004-9-9 16:25:00
<P>没有那么夸张吧，实际N只要和设计N一样即可。</P><P>TOOLING=实际厚度/显示厚度</P>
超级狐狸
发表于 2004-9-9 19:18:00
sensor上的厚度就是显示的厚度吧？
eagle1
发表于 2004-9-20 03:50:00
怎么不进行测试?哦.
超级狐狸
发表于 2004-9-21 23:53:00
嘿嘿~~因为没有测试工具
wish
发表于 2004-9-22 01:25:00
只从颜色上看，误差还是比较的大阿
x_x_x_f
发表于 2004-9-26 19:19:00
<P>我们用的是昭和真空SGC-26SA 看见monitor 用的是crystal monitor</P><P>高手能不能讲一下光控和晶控怎么判别啊？</P>
kk60
发表于 2007-10-31 23:49:55
迷糊！！！！！！！！！！！！
gxbm
发表于 2007-11-1 14:29:16
老大！！！看颜色能精确到525nm? 顶你个肺！
xx_912
发表于 2007-11-1 22:15:15
原帖由 zwl 于 2004-9-6 18:17 发表 static/image/common/back.gif
怎样使镀膜曲线与设计曲线一致 就目前的镀膜监控系统而言，有光控和晶控两种方式，对与光控，若要使镀膜曲线与设计曲线一致，最好的方法便是抓准膜材的折射率，而对与晶控。最好的方法便是抓准膜材的FACTOR值。 ...