魅力薄膜 发表于 2013-2-23 21:23:55

亲，你知道是怎么回事嘛？

亲
情况是这样的 ZRO2 镀200NM单层 抽真空时间差不多 流量控制在真空度2.0e-2 刚调好工具因子 下一炉曲线又长移了40NM左右，我在找原因，操作方法都相同 光斑位置在中间工件架转动平稳 修正版是固定式的 扩散泵真空稳定 百思不得其解啊希望有经验人士给指点下哈。
非常感谢

纳米先生 发表于 2013-2-23 21:35:22

给你顶一下    别让他沉了{:6_143:}

相伴/sun天涯 发表于 2013-2-24 08:17:22

你镀zro2怎么要充O2了，是客户要求要充O2的吗。   还充那么高2.0E-2   zro2对真空很敏感的    你看一下不用充O2   如果在不行就是你机台的负载不行了。

qjy 发表于 2013-2-24 11:25:35

折射率不稳定本身就是ZrO2材料的一个固有缺陷，另外你的监控也不一定非常准确，所以你说的这个结果是个正常现象

xiao2011 发表于 2013-2-24 14:24:45

{:6_143:}

captainH 发表于 2013-2-24 21:31:16

做啥产品啊，要镀那么厚的ZRO2？是一个坩埚镀完呢还是分开的呢？为什么要充氧呢？

良哥 发表于 2013-2-25 11:02:02

连续多做几次，待机台稳定后应该就OK了。

魅力薄膜 发表于 2013-2-25 18:08:05

纯粹就是做实验。。想算一下他的折射率 ，结果发现这个漂移量有点接受不了 冲气是为了保证他的真空度稳定

megan 发表于 2013-2-27 10:38:37

你可以考虑膜料性质，块状比颗粒的好一些
块状大小合适的话光斑可以换个4-5次，每次不能时间太长，50-80nm就要换，不然穿孔就不好了
还有预融也要充分，放气什么很厉害，

光粒网-Kelly 发表于 2013-2-27 14:57:46

{:6_143:}

yong0009 发表于 2013-2-27 16:47:41

{:6_143:}

ledboard 发表于 2013-3-2 11:44:31

这个不是很清纯呢·
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