菲索动态激光干涉仪实现材料均匀性的精确测量
以往，使用干涉仪进行绝对均匀性测量时，都对样品前后表面有面形有较高要求，并且需要将样品加工成前后面具有一定楔角。而在检测较大尺寸样品的均匀性时，表面面形精度往往是一大难点。美国4D技术公司F2000采用短相干光源实现定位干涉使得这一系列问题迎刃而解。只需要保证样品楔角足够小，就可以直接测量，对样品面形精度没有特殊要求。在样品面形为50波长时，相对测量精度仍然能达到千分之五，精度远高于传统方法。
4D F2000型干涉仪,除了继续保持其动态特性外，又增加了新的功能，可以说是一种完全新型的干涉仪。
4D F2000干涉仪的技术特点：共光路斐索型干涉仪；采用偏振光干涉仪原理；光源为短相干的，相干长度为300um。
具体测量步骤见：
http://opturn.blog.sohu.com/114406464.html
菲索激光干涉仪
动态系列：F2000， F3000
标准系列：AccuFiz
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