lengyubing 发表于 2013-8-1 22:14:37

求教在AR膜层上镀AF无防水效果

镀膜方式，常温离子源辅助镀完AR后,真空度4.0*10-5torr直接用阻蒸镀防水药速率大概1-1.5nm/s,膜厚大概在30nm左右,但是一点防水效果都没，同样工艺在白片上防水效果很好，而且试过白片和镀AR后的片子同炉镀AF，白片有效果但镀AR的片子没防水效果，求达人解答

john03062003 发表于 2013-8-4 13:25:47

最近才出现还是一直都存在？
你的AF是硅基的还是氟基的？
镀AF有没有离子辅镀？

ipshjh 发表于 2013-8-4 21:00:47

{:6_143:}{:6_143:}

良哥 发表于 2013-8-5 15:35:53

将最后一层取消离子源

xiaohuilee 发表于 2013-8-5 16:16:16

有可能主要是像二楼说的 是硅基还是氟基

maray 发表于 2013-8-5 21:10:52

AR最后一层是硅是氟，这个要与AF搭配的

lengyubing 发表于 2013-8-5 23:12:20

回复楼上各位，是最近才试AR+AF，最后一层是sio2,前面一直另一面镀防水膜sio2+AF效果还不错，AF层无离子源辅助，低温镀膜5层的膜系最后一层sio2 70多nm，不加离子源膜层质量应该没保证吧。谢谢各位好心人，搞不清到底是哪出问题啦

xiaohuilee 发表于 2013-8-7 15:04:24

AF不加离子源，其他的你可以用离子源的，我们以前做AF的时候都不用离子源的，最外成用sio2，最后镀AF即可，一般AF在一分钟内镀完，不过也有可能是你的AF料有问题呢，不能只在工艺上找问题，要各个方面的找，要不镀膜工程师真的成仙了

诸葛流星 发表于 2013-8-15 10:19:59

你镀的AR是在什么条件下蒸镀的？
         如真空度及充气条和温度件等
在镀AF是什么条件下蒸镀的？
         真空度及温度等

诸葛流星 发表于 2013-8-15 10:28:58

一般来说你镀的AR表面最外层SiO2要光滑(质密度高)、清洁，在沉积AF时速率可以在高些，市面上的防水药蒸镀时的基片温度低较好

lengyubing 发表于 2013-8-16 22:49:51

谢谢各位！

lengyubing 发表于 2013-8-20 20:34:45

谢谢各位，问题已解决，最后一层取消了离子源辅助，AF防水效果OK
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