WENJINGREN 发表于 2013-10-29 09:03:11

TI3O5镀膜参数求教

各位同仁：
         使用TI3O5镀增透膜，实际与设计相差较多，想请教TI3O5的控制参数、密度等，谢谢。

霹靂貓 发表于 2013-10-29 17:06:37

{:6_140:}

xiaohuilee 发表于 2013-10-29 18:29:11

tooling 折射率 都对吗

WENJINGREN 发表于 2013-10-30 09:42:12

xiaohuilee 发表于 2013-10-29 18:29 static/image/common/back.gif
tooling 折射率 都对吗

折射率没问题， tooling 改变后镀膜结果没有变化。

WENJINGREN 发表于 2013-10-30 09:42:59

霹靂貓 发表于 2013-10-29 17:06 static/image/common/back.gif


设计的没问题，但镀后结果差很大

大大鸟鸟 发表于 2013-10-30 15:27:58

1.什么设备？
2.镀多厚？
3.速率多少？
4.你的折射率多少？

WENJINGREN 发表于 2013-10-30 15:43:42

大大鸟鸟 发表于 2013-10-30 15:27 static/image/common/back.gif
1.什么设备？
2.镀多厚？
3.速率多少？


韩国设备，镀4层增透、9层增透，速率3A/秒

royyang 发表于 2014-7-8 05:10:26

真空度不稳定

lkai1014 发表于 2014-7-8 07:53:18

把你设计的和镀出来结果传上来看看{:6_141:}

lkai1014 发表于 2014-7-8 07:54:06

lkai1014 发表于 2014-7-8 07:53 static/image/common/back.gif
把你设计的和镀出来结果传上来看看

{:6_145:} 去年的帖子了 {:6_153:}

wjwvsly 发表于 2014-7-8 11:14:21

说明实际的光学厚度与设计的不符，也可以说是物理厚度和材料折射率值不准

crl0129 发表于 2014-7-21 14:35:13

设计的再漂亮，和机台的各项条件有差异的话是镀不出来的。。。。{:6_153:}
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