低温镀宽带增透膜
各位,小弟有一问题提出,大家讨论:对固化的光学胶水,在其表面镀制可见区的宽带增透膜,采用什么样的工艺条件合适。
工艺需要注意考虑以下问题:
1.光学胶水的线膨胀系数较大,一般在70-200×10-6/K,而膜层的线膨胀系数在1-10×10-6/K;
2.镀完后的工艺中要求进行110℃左右的烘烤,时间在2H左右;
3.镀膜材料的选取;是否用离子源;
4、基底是在D263T上涂的光学胶水;胶水+玻璃的厚度在0.3mm左右,需考虑翘曲问题。
请各位畅所欲言……
没人讨论么?求大侠! {:6_141:} 这个应该比较难!你这个干什么用? 手机镜头使用的! AR膜层应力不是很大,玻璃变形相对不会很大。觉得应该使用IAD辅镀 {:6_141:} {:6_143:}{:6_143:}{:6_143:} 你去试一下不就知道了,只有动手才能发现和解决问题的,实验是检验真理的唯一标准,说那么多也无助于你解决后面的问题呀 呵呵最近刚好在多D236T的镜片不过我这个要求是水下使用的 即入射介质为水 以前见过晶圆打孔做有翘曲要求的,不过那个膜层厚,镀的IR。镀AR的话应该不会产生翘曲的问题,冷镀还是用离子源辅助吧,膜层牢固点 {:6_154:}{:6_154:}{:6_154:}{:6_154:}{:6_154:}{:6_154:}{:6_154:}{:6_154:}
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