删除、过去式 发表于 2014-3-21 21:17:59

急求 工艺问题 大神请进

怎么解决zro2 1000-1100 吸收严重问题算出来折射率开离子源是1.8不开离子源 折射率为2.06   但是不开离子源吸收大折射率高1000-1100折射率会高开离子源没吸收 但是折射率低    充氧没什么问题   都试过了   试做过TI3O5 机器方面没问题 现在在什么情况下折射率会做高而且吸收1000-1100吸收会小

xiaohuilee 发表于 2014-3-22 08:08:50

最简单的方法就是换膜料 用zr ti混合物有可能是离子源的问题你改下离子源参数试试zr会随着膜厚的增加而增加【折射率】，用离子源可以改变这种情况 你说呢

xiaohuilee 发表于 2014-3-22 08:09:15

最简单的方法就是换膜料 用zr ti混合物有可能是离子源的问题你改下离子源参数试试zr会随着膜厚的增加而增加【折射率】，用离子源可以改变这种情况 你说呢

yh65430 发表于 2014-3-22 13:35:47

用ZrTi混合物估计不会好吧？

captainH 发表于 2014-3-24 08:22:00

这个。。。这个工艺很有问题

rollo_tomasi 发表于 2014-3-24 12:10:05

你镀一个单层的ZrO2试试看，还会不会有这个问题！

HGcoating 发表于 2014-3-25 10:49:47

可能原因：1、工艺问题
　　　　　2、折射率算法有问题
　　　　　3、材料有问题

李昌瑞 发表于 2014-3-25 22:42:54

   更换材料是最简单的解决方法了
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