HGcoating 发表于 2014-3-27 13:47:56

圆黑点的什么？

在镀膜机内抽真空后加热160度后，开腔取出在显微镜下检验有圆黑点。（不开离子源，不开电子枪）

wangliia 发表于 2014-3-27 14:37:47

移动显微镜平台，不动的话就是显微镜里面脏了

HGcoating 发表于 2014-3-27 14:54:57

应该不是，更换过几台显微镜，不同区域的地方也有类似的黑点。黑点有的多有的少。

HGcoating 发表于 2014-3-27 14:55:57

不知道有没有可能是哪种液体加热后产生反应造成的？

HGcoating 发表于 2014-3-27 15:09:57

擦不掉，吹不掉。

HGcoating 发表于 2014-3-27 15:14:36

这形状条形加热前只接触过高纯氮气设备，氮气只是转换真空后起吸的作用。并没有往外吹气。

HGcoating 发表于 2014-3-27 15:16:02

哪位高手能解释下原因。

wangliia 发表于 2014-3-27 16:02:34

脏东西经过高温烧焦，类似损伤的一种？

HGcoating 发表于 2014-3-27 16:19:56

wangliia 发表于 2014-3-27 16:02 static/image/common/back.gif
脏东西经过高温烧焦，类似损伤的一种？

表面是InGaAlP半导体材料，在400度温度下不会有变化。

HGcoating 发表于 2014-3-27 16:25:08

HGcoating 发表于 2014-3-27 14:55 static/image/common/back.gif
不知道有没有可能是哪种液体加热后产生反应造成的？

擦不掉，吹不掉。

MorningTech 发表于 2014-3-27 22:00:16

本帖最后由 MorningTech 于 2014-3-27 22:04 编辑

多为圆点， 似应为液体表面张力所致收缩成圆形。
或是过程中变成液态，或本来就是液态，或是液体中杂质留下的圆斑，加温后变性了。

大大鸟鸟 发表于 2014-3-28 07:47:05

是在镀腔面吗？
页: [1] 2 3
查看完整版本: 圆黑点的什么？