x_x_x_f 发表于 2004-9-23 19:43:00

关于金属加介质高反膜的问题

在铝膜外加镀一层SiO膜，反射率达不到要求的90%。为什么？

xiaohe 发表于 2004-9-23 23:03:00

加低温设备可以提高反射率的.

d2ma 发表于 2004-9-24 01:01:00

<DIV class=quote><B>以下是引用<I>x_x_x_f</I>在2004-9-23 11:43:12的发言：</B>
在铝膜外加镀一层SiO膜，反射率达不到要求的90%。为什么？</DIV>
<P>也许你的sio膜的厚度没有控制好</P>

zxp163a 发表于 2004-9-24 03:22:00

<P>要提高反射率，可以从以下几个方面考虑：1、尽可能提高真空度；2、材料纯度要足够高；3、尽可能提高铝的蒸发速率；4、基底的温度要低；5、在中心波长处多镀几对低高折射率膜层。</P>

x_x_x_f 发表于 2004-9-24 18:40:00

<P>可能厚度没有控制好，因为是凭经验镀了多厚 </P>

Jesus 发表于 2004-9-24 18:54:00

可不可以做金属膜+多层介质膜，高反的平坦度和反射率可能会好些。

x_x_x_f 发表于 2004-9-26 19:08:00

<P>如果做金属加多层介质膜是不是<FONT color=#000066><b>zxp163a</b></FONT><FONT color=#000000>所说的多镀几对低高折射率对？</FONT></P><P>那样的话是不是先镀1/4中心波长厚度的低折射率膜，再镀1/4中心波长厚度的高折射率对？</P><P><b><FONT color=#000066> </FONT></b></P>

cjjiang 发表于 2004-9-27 18:45:00

<P>先镀高折射还是先镀低折射跟你所选衬底有关</P>

caodahua 发表于 2006-8-21 23:23:00

我觉得1、尽可能提高真空度；2、材料纯度要足够高；3、尽可能提高铝的蒸发速率；4、基底的温度要低情况下,镀这样的膜系Al+(NbOx/SiO2)
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