xiaolvzi
发表于 2004-9-24 00:01:00
薄膜退火
薄膜退火后起皮脱落了，真是纳闷呀？
zxp163a
发表于 2004-9-26 02:58:00
<P>那可能是基底的原因，我在某些晶体上镀单层SiO2时也出现过类似情况</P>
超级狐狸
发表于 2004-9-24 00:22:00
退火是什么意思？？冷却吗
sanjie
发表于 2004-9-24 00:24:00
在空气中自然冷却？？
zxp163a
发表于 2004-9-24 03:26:00
可能是镀膜工艺存在问题，另外退火的温度对于膜层来说是否太高？冷却是否太快？
xiaolvzi
发表于 2004-9-24 04:25:00
随炉冷却的，300度不算高，是sio2膜呢
蘑菇
发表于 2004-9-25 06:26:00
<P>建議冷卻時間加長，溫度在降低些 試試</P><P>小小拙見 還請指教</P>
heyanch
发表于 2004-9-28 00:20:00
<P>基底材料是否匹配\温度过高\或冷却太快都可能.</P>
heyanch
发表于 2004-9-28 00:22:00
<P>基底材料是否匹配主要有:</P><P>晶格匹配和热学参数.</P>
zjtzzy
发表于 2004-9-29 18:54:00
这种情况下，主要原因是镀膜时造成应力太大而脱膜。
hoogoogol
发表于 2004-9-29 20:51:00
<P>技术不到家</P>
matta
发表于 2004-9-29 20:55:00
<P>呵呵 呵呵 楼上说的对 当然是技术不到家了 </P>