xiaohuilee 发表于 2015-3-20 23:24:26

五氧化二钽有吸收该如何改善

烦请各位帮帮忙五氧化二坦紫外吸收很大，再250-500改如何改善，没有离子源，尝试过增加充氧量，最后降低速率到1.5A，可还是有吸收，除非镀的比较薄，吸收比较小些，温度250

qjy 发表于 2015-3-21 00:56:59

兄弟！在这个波段您为啥要选Ta2O5呀？这种材料就到不了那么短的波长，建议选用HfO2

xiaohuilee 发表于 2015-3-21 19:52:55

qjy 发表于 2015-3-21 00:56 static/image/common/back.gif
兄弟！在这个波段您为啥要选Ta2O5呀？这种材料就到不了那么短的波长，建议选用HfO2

TA2O5 透明区域是300-10000   可是我用的TA在380左右都有吸收   
HF主要成本太高了老板不让用

holdout@163 发表于 2015-3-23 14:59:16

镀完以后用200多的烘箱烘一下看看，效果是否明显！

shuangzixing 发表于 2015-3-25 11:49:49

烘箱温度250°烘烤时间3小时到自然冷却。

DanielTsai06 发表于 2015-3-30 10:25:18

試試ZrO2.

HGcoating 发表于 2015-3-30 15:49:55

试试ZrO2，可能会好些

riy2000 发表于 2015-4-2 14:37:12

{:6_143:}{:6_143:}{:6_143:}{:6_143:}楼上正解。

aweihuang 发表于 2015-4-4 01:03:06

:D :D

aweihuang 发表于 2015-4-4 01:03:39

:D:D

bluesun 发表于 2015-4-10 10:46:21

350nm 之前有需求 TA就不要考虑了；350nm 之后用非IAD，吸收很大，建议楼上的烘烤应该可以

xiaohuilee 发表于 2015-4-11 22:01:41

bluesun 发表于 2015-4-10 10:46 static/image/common/back.gif
350nm 之前有需求 TA就不要考虑了；350nm 之后用非IAD，吸收很大，建议楼上的烘烤应该可以

烘烤不是长久之计   不知除了hfo2还有什么好的材料zr也不行
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