[转帖][原创]有關非球面面型測量的討論,光学设计与光学软件应用

Horky 发表于 2004-10-19 23:52:00

[转帖][原创]有關非球面面型測量的討論

非球面測試有三種方法：
 1.Profilometry 典型就是Form TalySurf
 2.Interferometry 幹涉儀類的，這一類取決於Sensor的準確度，且復雜一點的非球面就需要CGH和Null Lens
3.Shack Hartman Sensor(SHS),這個技術還不成熟！
 還有就是使用Zernikes系數進行推導，這一點聽說蘇州大學的余姓教授對些很有研究，不知道各位是否能透點信息。
其中第二項，就是CGHs和Null Lens太貴了，且要和測試件一一匹配，這是一個難點啊！
以上論點僅為拋磚引玉，希望大家暢所欲言！

Horky 发表于 2004-10-19 23:54:00

解釋一下：CGH--Computer Generated Hologram計算生成全息圖 Null Lens---零透鏡，有哪位從事這方面工作的也請發表高見!

simem 发表于 2004-10-20 00:26:00

第一项写错，是Form TaylorSurf, 不好意思。

Horky 发表于 2004-10-20 04:24:00

三樓這位老大,我沒有寫錯,以下為証:完整為 The Form TalySurf, 他們公司叫Taylor-Hobson,網站為www.Taylor-Hobson.com,我想我們說的是一家吧!不知您對非球面測量有何高見?

simem 发表于 2004-10-20 16:29:00

还是horky看得仔细，实验室里有两台TalySurf, 天天看偶还把它的名字记错。
测量球面，Zygo还是可以的。现在WYKO公司出来一台新的非球面非接触测量式的机器叫VEECO.

Horky 发表于 2004-10-21 06:00:00

請教Simem,WYKO公司的VEECO有什麼優勢,是不是也像FISBA和Zygo一樣要加補償片.FISBA可以測非球面量同最佳擬合球面(Best Fit Sphere)量的差量在30um以內的非球面,這也是靠他們儀器上的Sensor決定的,Zygo也類似了.但不知這個VEECO有什麼特點?

Horky 发表于 2004-10-21 06:01:00

還有一個問題就是為什麼在測量時相關系數要轉向,且R值和多次項不同時轉向?

Horky 发表于 2004-10-21 06:05:00

<v:shapetype> <v:stroke joinstyle="miter"></v:stroke><v:formulas><v:f eqn="if lineDrawn pixelLineWidth 0"></v:f><v:f eqn="sum @0 1 0"></v:f><v:f eqn="sum 0 0 @1"></v:f><v:f eqn="prod @2 1 2"></v:f><v:f eqn="prod @3 21600 pixelWidth"></v:f><v:f eqn="prod @3 21600 pixelHeight"></v:f><v:f eqn="sum @0 0 1"></v:f><v:f eqn="prod @6 1 2"></v:f><v:f eqn="prod @7 21600 pixelWidth"></v:f><v:f eqn="sum @8 21600 0"></v:f><v:f eqn="prod @7 21600 pixelHeight"></v:f><v:f eqn="sum @10 21600 0"></v:f></v:formulas><v:path connecttype="rect" gradientshapeok="t" extrusionok="f"></v:path><lock aspectratio="t" v:ext="edit"></lock></v:shapetype><v:shape><v:imagedata></v:imagedata></v:shape><v:shapetype> <v:stroke joinstyle="miter"></v:stroke><v:formulas><v:f eqn="if lineDrawn pixelLineWidth 0"></v:f><v:f eqn="sum @0 1 0"></v:f><v:f eqn="sum 0 0 @1"></v:f><v:f eqn="prod @2 1 2"></v:f><v:f eqn="prod @3 21600 pixelWidth"></v:f><v:f eqn="prod @3 21600 pixelHeight"></v:f><v:f eqn="sum @0 0 1"></v:f><v:f eqn="prod @6 1 2"></v:f><v:f eqn="prod @7 21600 pixelWidth"></v:f><v:f eqn="sum @8 21600 0"></v:f><v:f eqn="prod @7 21600 pixelHeight"></v:f><v:f eqn="sum @10 21600 0"></v:f></v:formulas><v:path connecttype="rect" gradientshapeok="t" extrusionok="f"></v:path><lock aspectratio="t" v:ext="edit"></lock></v:shapetype><v:shape><v:imagedata></v:imagedata></v:shape><v:shapetype> <v:stroke joinstyle="miter"></v:stroke><v:formulas><v:f eqn="if lineDrawn pixelLineWidth 0"></v:f><v:f eqn="sum @0 1 0"></v:f><v:f eqn="sum 0 0 @1"></v:f><v:f eqn="prod @2 1 2"></v:f><v:f eqn="prod @3 21600 pixelWidth"></v:f><v:f eqn="prod @3 21600 pixelHeight"></v:f><v:f eqn="sum @0 0 1"></v:f><v:f eqn="prod @6 1 2"></v:f><v:f eqn="prod @7 21600 pixelWidth"></v:f><v:f eqn="sum @8 21600 0"></v:f><v:f eqn="prod @7 21600 pixelHeight"></v:f><v:f eqn="sum @10 21600 0"></v:f></v:formulas><v:path connecttype="rect" gradientshapeok="t" extrusionok="f"></v:path><lock aspectratio="t" v:ext="edit"></lock></v:shapetype><v:shape><v:imagedata></v:imagedata></v:shape>以上為相應轉向示意圖,可FTS測量時轉向並不是這麼回事!

Horky 发表于 2004-10-21 06:05:00

圖怎麼貼不上?

Horky 发表于 2004-10-21 06:11:00

系數轉向示意圖

<img src="data/attachment/forum/dvbbs/2004-10/20041020221027645.jpg" border="0" onload="if(this.width>screen.width*0.7) {this.resized=true; this.width=screen.width*0.7; this.alt=\'Click here to open new window\nCTRL+Mouse wheel to zoom in/out\';}" onmouseover="if(this.width>screen.width*0.7) {this.resized=true; this.width=screen.width*0.7; this.style.cursor=\'hand\'; this.alt=\'Click here to open new window\nCTRL+Mouse wheel to zoom in/out\';}" onclick="if(!this.resized) {return true;} else {window.open(\'data/attachment/forum/dvbbs/2004-10/20041020221027645.jpg\');}" onmousewheel="return imgzoom(this);" alt="" />
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補發!

simem 发表于 2004-10-25 19:54:00

WYKO公司的VEECO优势是3维的非接触式测量，测量后给出3D的Map. 可以用来测量微结构阵列和微结构自由曲面，譬如导光板中的Micro lens array, 也可以测量非球面，但是测量非球面的范围没有TalySurf那么大。Talysurf测量凹面时，R值和多次項不同時轉向，本人认为talysurf在测量凹面时候，它是把R当成是正的，就是说R值在仪器里已经被转了一次，所以自己需要把多项式转过来。刚开始我也想不明白这个问题。

simem 发表于 2004-10-25 19:58:00

VEECO不需要加补偿片，它的非球面Fitness方式和Talysurf差不多。

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