ditto 发表于 2004-10-24 08:14:00

求助：pecvd法在硅片上长出来的si3n4是单晶还是多晶呀？

<P><b>求助：pecvd法在硅片上长出来的si3n4是单晶还是多晶呀？</b></P>

eagle1 发表于 2004-11-3 22:34:00

<P>肯定不是单晶，可能是非晶和多晶。</P>

zzf-1 发表于 2005-2-4 21:36:00

回复：（ditto）求助：pecvd法在硅片上长出来的si3n4是...

<P>生长的SiO2或者SiN介质薄膜本来就不是晶体形式存在的，不需要讨论。</P>
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