x_x_x_f 发表于 2005-2-17 03:50:00

在镀Al2O3的时候，电子枪报警，电子枪打不开；但打开机器灯丝没有问题，大家碰到过这种情况没有？

zz 发表于 2005-2-17 17:04:00

<P>镀单层吗?还是过程中?</P><P>电子枪抱啥警?</P>

sanma 发表于 2005-2-18 03:18:00

我也出现过此情况，我觉是束流太大了

xiaozhou 发表于 2005-2-18 07:25:00

回复：（seeyou1107）用电子枪镀TiO2时，出现异常！大...

<P>这位老兄，请你检查电子枪灯丝或者电子枪高压接线部分接触位置是否未能接触好。我也曾经遇到过类似的情况。</P>

帅的按不住 发表于 2005-2-22 18:10:00

离子枪冲氧的问题......韩国人也修过.但没修好

flyinlove79111 发表于 2005-3-19 09:33:00

把电子枪拆了清洗一下，太脏了也会 出现这种情况

sam1900 发表于 2005-3-20 23:13:00

抱歉！！！做广告

东莞阿斯创成立于二零零二年。公司以经营精密光学加工所用镀膜耗材、研磨耗材、镀膜机耗材、配件。公司致力于帮助客户解决各类型镀膜耗材的及时供应，以最全面的、最完整的各类型日本、韩国、德国、美国、中国材料大型仓储来填补市场供求过慢状况，形成目前华东、华南等地区市场最大、最快的供货平台。且公司具有市场最专业的镀膜技术人员，准确、有效的帮助客户解决生产、研发中所需的一切可靠性技术参数及材料的正确使用，给予您最佳的技术建议与指导。公司的主营产品如下：
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c．德国默克公司所生产的各种规格型号的MgF2、Al2O3、SiO、SiO2、TiO、TiO2 、TiOS、Ti2O3、Ta2O5、ZrO2、H4、H2、等系列镀膜耗材。
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lubin 发表于 2005-3-22 05:10:00

请问楼主用的什么机器？

dzk999 发表于 2005-4-15 06:38:00

13楼
在镀Al2O3的时候，电子枪报警，电子枪打不开；但打开机器灯丝没有问题，大家碰到过这种情况没有？
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是不是设定的功率保护值太低了？

zz 发表于 2005-4-15 16:42:00

灯丝会亮吗?电子枪报警提示是啥?

x_x_x_f 发表于 2005-4-15 19:31:00

镀的是3曾膜的第一层Al2O3，应该没有设置功率保护值，以前也是用这样的功率镀的。警报是：    EB On check error。报警时灯丝没有亮。怀疑是灯丝劣化了，但仔细观察灯丝没有问题。换了新的灯丝就好了。
这个情况在一机台上发生过多次，在其他机台上很少发生。
另外，我们的EB比较脏，会不会是接触上的问题？
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