vietti 发表于 2004-11-12 00:02:00

[求助]关于多层膜的镀制

<P>用Al2O3和TiO2做LH材料</P>
<P>在衬底上分别镀单层膜，从反射谱看峰值波长为所需波长，表明厚度控制合适。</P>
<P>然后镀（LH）4后，却发现峰值波长偏了很多。</P>
<P>是因为一个坩锅里材料镀几次，导致后几层的实际厚度发生变化？还是其他什么问题？</P>
<P>另：镀完一层换材料镀下一层时，间隔时间长短有多大影响？多长合适呢？</P>

vietti 发表于 2004-11-18 16:45:00

<P>顶</P>
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