[求助]如何解决同一圈吃药不均匀?谢谢!
<P>各位都是本人的老师了,在下想了解一下,(1)如何可以做出,吃药均匀,性能良好的叶片呢?</P><P>我所说的是4个叶片的!</P>
<P>(2)如何解决架子同一圈吃药偏大的问题呢?(一个是架子本身变形的话也会偏,除此之外呢?)</P>
<P>{机器是MARS,直径为1200的}</P> 修正板慢慢的修! <P>倒~兄台,我也知道得慢慢修这个东西不是一天两天就能修好的~</P><P>你倒给个办法啊!</P> <P>公式有一个,我也只是知道,具体如何用我还不太明白!你可以问一下这方面高手!</P> 同一圈不好,转速是否合适? <P>均匀性不好的原因很多,比如转速.烘烤温度的均匀性.使用的材料等,解决的办法:1.移动电子枪的位置2.作均匀性挡板</P><P>都不是一下子能做好的,耐心一点:)</P> <P>转速:真空速为13RPM,镀膜速为16RPM</P><P>电子枪移动??</P><P>我们的电子枪是固定的啊!</P><P>我们的架子用了四年了,有一定的变形!</P><P>还有没有别的原因会使吃药不均匀呢?谢谢!</P> <P>电子枪是固定的?!你们用的是什么机器?架子变形肯定影响均匀性,把架子整整形,也许有点用</P> <P>有修整架子的办法吗?</P> 同一圈吃药偏大基本可以通过补正板修正,做几次单层膜去试吧! 同一圈吃咬不均通过MASK很难解决,我看首要问题是得把你的架子和盘子修好,另外的看看转动是否平稳;当这些前提都正常后再试着提高转速. <P>同意楼上的说法。MASK能解决不同圈吃药不均,对同一圈吃药不均效果不大吧。看看架子在高速转动下是不是偏离水平面太多了。</P><P>请问:4楼的Leesnow 朋友,你说的修正板的公式是什么?能交流一下么</P>
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