镀BBO时出现整面的很细的亮路
<P>最近镀BBO晶体,只镀一层HFO2(400埃),后拿出来发现整面都有很细的亮路,</P><P>大家一起讨论一下可能引起的原因,</P> 如果没有说错电话应该是应力引起的膜裂 不匹配 擦试的问题 切割角度为多少? 镀膜时温度多少?我想擦的时候不至于看不见吧? <P>镀前擦拭时是看不见的,镀完后也看不见,可是镀完擦拭就出现细亮路了,</P><P>起初也是怀疑是擦拭,可用力擦拭那些细亮路都不会变多或变粗,膜的牢固也很好,</P><P>真是头痛,大家帮忙想想办法吧,</P> 有亮路还说牢固度好,用橡皮头擦擦,还行吗? <P>用强力白胶带粘过,膜的牢固却实很好,</P><P>奇怪的是,镀厚后细亮路就没了,</P> <P>有没有用离子原啊</P> <P>排除了擦拭的原因了吗?</P><P>不会吧? 切割角度?烘烤的升温情况如何?降温如何?镀膜时速率如何?镀膜时束流多大?</P> <P>顶!</P> 啥?镀厚亮路就消失了?现象重复吗?
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