chz321 发表于 2004-12-8 07:37:00

镀BBO时出现整面的很细的亮路

<P>最近镀BBO晶体,只镀一层HFO2(400埃),后拿出来发现整面都有很细的亮路,</P>
<P>大家一起讨论一下可能引起的原因,</P>

coatingzhang 发表于 2004-12-14 01:33:00

如果没有说错电话应该是应力引起的膜裂

zz 发表于 2004-12-8 22:12:00

不匹配

hgw2001 发表于 2004-12-9 16:39:00

擦试的问题

wottlin100 发表于 2004-12-9 20:04:00

切割角度为多少? 镀膜时温度多少?我想擦的时候不至于看不见吧?   

chz321 发表于 2004-12-10 08:48:00

<P>镀前擦拭时是看不见的,镀完后也看不见,可是镀完擦拭就出现细亮路了,</P><P>起初也是怀疑是擦拭,可用力擦拭那些细亮路都不会变多或变粗,膜的牢固也很好,</P><P>真是头痛,大家帮忙想想办法吧,</P>

zz 发表于 2004-12-10 18:35:00

有亮路还说牢固度好,用橡皮头擦擦,还行吗?

chz321 发表于 2004-12-11 07:37:00

<P>用强力白胶带粘过,膜的牢固却实很好,</P><P>奇怪的是,镀厚后细亮路就没了,</P>

xcy1075 发表于 2004-12-13 05:22:00

<P>有没有用离子原啊</P>

wottlin100 发表于 2004-12-13 20:47:00

<P>排除了擦拭的原因了吗?</P><P>不会吧? 切割角度?烘烤的升温情况如何?降温如何?镀膜时速率如何?镀膜时束流多大?</P>

wottlin100 发表于 2004-12-14 20:07:00

<P>顶!</P>

zz 发表于 2004-12-15 23:52:00

啥?镀厚亮路就消失了?现象重复吗?
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