x_x_x_f 发表于 2004-12-23 06:23:00

抽真空只能抽到1.0E-3Pa,为什么？

<P>抽真空一下午，只能达到这个真空度</P>
<P>真空系统为油扩散泵+机械泵+油回转泵</P>
<P>前些日子加过油回转泵的油，但另外两台机器也加了，没问题；</P>
<P>感觉不像是leakage</P>
<P>为什么呢？</P>

zz 发表于 2004-12-23 19:01:00

<P>是否加热？有POLYCOLD？</P>

snebur 发表于 2004-12-23 20:56:00

leakage during high vcuum

别排除高真空漏气的可能性！

Leesnow 发表于 2004-12-24 23:14:00

看一下每个系统的抽气时间是否正常，逐个的排除！

x_x_x_f 发表于 2004-12-27 05:19:00

<P>有POLYCOLD的</P><P>抽的时间长了可以达到8.7E-4Pa</P><P>在抽气情况下转动各个转动部件压力无明显变化，没有出现微小的上升。</P>

Leesnow 发表于 2004-12-27 16:10:00

<P>那肯定是不漏气了</P>

xiaohe 发表于 2005-1-5 19:35:00

<P>如果你的POLYCOLD放在真空室，那可能是扩散泵返油造成抽速差，检查一下高阀是否有油严重的现象。</P>

金炯 发表于 2005-1-7 21:08:00

<P>其实这个系统抽到-3的量级应该可以接受了</P>

zz 发表于 2005-1-11 23:28:00

真空室脏不?抽气系统有问题.

x_x_x_f 发表于 2005-1-13 18:05:00

<P>原因找到了，是窥视窗旋转处的橡胶环坏掉了，现在好了。 </P><P>可以抽到1.5E-5Pa</P>

ippsong 发表于 2005-1-15 01:11:00

恭喜恭喜<p></p></P>可喜可贺
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