帮忙给点建议,谢谢
<P>请问高人:</P><P> 在波长为190纳米处,入射角为45度,在基片上镀铝能否实现反射率为60%?在铝膜外镀MgF2作为保护膜可以么?</P>
<p>铝膜外最好镀Sio2 作为保护膜!MgF2容易潮解。暴露于空气中不稳定。Sio2作为保护膜可能较好!</P> SIO2在190NM处不能用. <P>为什么二氧化硅在190nm不能用</P> Sio2可以用啊,我们都做过了,效果不错 SiO2应该不行吧,没做过, 紫外光用膜系软件模拟意义不大,6楼 做出来后又没有产品的测试数据
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