sharmoon 发表于 2005-3-15 04:22:00

帮忙给点建议,谢谢

<P>请问高人:</P>
<P> 在波长为190纳米处,入射角为45度,在基片上镀铝能否实现反射率为60%?在铝膜外镀MgF2作为保护膜可以么?</P>

yin99 发表于 2005-3-15 05:46:00

snebur 发表于 2005-3-15 08:12:00


<p>铝膜外最好镀Sio2 作为保护膜!MgF2容易潮解。暴露于空气中不稳定。Sio2作为保护膜可能较好!</P>

zz 发表于 2005-3-15 16:04:00

SIO2在190NM处不能用.

风之炫彩 发表于 2005-3-19 06:35:00

<P>为什么二氧化硅在190nm不能用</P>

flyinlove79111 发表于 2005-3-19 09:23:00

Sio2可以用啊,我们都做过了,效果不错

wazxq 发表于 2005-3-20 00:00:00

SiO2应该不行吧,没做过,

wazxq 发表于 2005-3-20 00:02:00

紫外光用膜系软件模拟意义不大,6楼 做出来后又没有产品的测试数据
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