huafei920 发表于 2005-4-4 02:26:00

关于pecvd镀膜

关于pecvd镀膜的厚度、折射率、致密性与工作气流量、工作温度、工作气压即功率之间的关系？   请哪位高手指点一下！谢谢！

strongsavage 发表于 2005-4-20 18:24:00

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