光电社区 › 光学镀膜技术及膜系设计 › [求助]如何去除不锈钢上的二氧化硅薄膜？

mood 发表于 2005-4-13 03:19:00

[求助]如何去除不锈钢上的二氧化硅薄膜？

<P>用PECVD法在不锈钢上镀上了1um的二氧化硅，现想将二氧化硅洗掉，重新利用那块不锈钢片，用什么方法好呢。</P>
<P>谢谢。</P>

hacker 发表于 2005-4-18 00:42:00

可试试喷砂之方法，喷完砂后最好用酒精或丙酮擦拭干净。如果条件允许的话再用超声波清洗一下，烘干后就可使用。

tlean 发表于 2005-4-18 02:00:00

还是用氢氧化钠好，绝对不破坏基材

snebur 发表于 2005-4-18 04:29:00

氢氟酸0.5% mol,注意HF对于眼睛鼻子有刺激，当心使用！

sauke 发表于 2005-4-13 19:50:00

氟化氢氨溶液来泡。注意低温通风哈。

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