4366544 发表于 2005-6-28 17:48:00

帮帮忙！！！！！！！！！！

为什么会有同一个机器镀膜．镀单层mgf2时是均匀性相差波长５ＮＭ，但是镀多层时会差波长３０ＮＭ啊！
望诸位帮帮忙啊

4366544 发表于 2005-6-28 18:49:00

怎么没有人啊！晕

flyinlove79111 发表于 2005-6-28 20:31:00

因为每台机器都有控制误差啊.

zz 发表于 2005-6-28 21:14:00

首先多层较当层敏感,其次各种膜料的均匀性不一样,再次误差累积.

wazxq 发表于 2005-6-28 21:42:00

材料的性质不一样，束流不同也会。不过按道理没有那么大的变化。

4366544 发表于 2005-6-28 21:54:00

hai 有 人在吗?我们一起讨论讨论!!

何谓人 发表于 2005-6-29 03:52:00

多种原因造成的，你的机子的性能，及稳定性不好吧！！！

4366544 发表于 2005-7-8 22:34:00

以下是引用何谓人在2005-6-28 19:52:05的发言：多种原因造成的，你的机子的性能，及稳定性不好吧！！！就算是也不会这么大的差距啊？

xiaozhou 发表于 2005-7-9 06:07:00

不知道误差是指同一罩的还是罩与罩之间的误差。

Leesnow 发表于 2005-7-9 21:52:00

应该是单层的不稳定，多层的结果可靠一些！

4366544 发表于 2005-7-10 00:19:00

你说的是什么意思啊?什么东西可靠啊?

经济学的故事 发表于 2005-7-13 00:50:00

蒸镀条件没变更的话
建议你校正下你的Mask，另蒸镀时可考虑加大点Rotation speed．
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