赵小妖 发表于 2005-10-25 19:50:00

<P>是固定位置的基片才会起雾吗？</P>

春日步 发表于 2005-11-15 19:47:00

<P>可能是氧气进入量太多或太少吧</P>

jody 发表于 2005-11-26 19:11:00

<P>有可能是基片本身问题</P>
<P>1表面腐蚀不均,</P>
<P>2污染</P>

fsj999 发表于 2005-12-13 02:45:00

使用铝箔纸是一个好方法,铝箔可以吸收一部分膜料.

zzzz 发表于 2005-12-14 18:34:00

<P>玻璃材料是否不稳定?</P>

ghy06 发表于 2005-12-15 03:37:00

有没有可能是由于清洗后基片表面没有完全干好?

那只虾 发表于 2005-12-15 22:08:00

<P>我遇到过的情况：</P>
<P>离子源太厉害了，从镀膜伞上的镙丝孔中绕射。</P>

OPCBU 发表于 2005-12-17 01:26:00

<P 0cm 0cm 0pt">各位大哥<FONT face="Times New Roman">,</FONT>若有进一步解决办法<FONT face="Times New Roman">,</FONT>请再说说吧！</P>
<P 0cm 0cm 0pt">小弟也有这样的问题！</P>

宇轩 发表于 2005-12-17 05:19:00

<P>如果盖上铝泊还不行的话，那就得考虑是膜料或是离子源的问题了</P>
<P>不过有人说是离子源能量太强会造成这样，也有人说是太弱才会发蒙的</P>
<P>你是用的莱宝的APS吗？</P>

lianqian2000 发表于 2006-3-12 04:47:00

<P>我们也遇到了同样的问题,但好象是在镀膜面产生的雾状物质.</P>
<P>从清洗到机器,到膜料看了个遍,</P>
<P>也没有找到问题所在,</P>
<P>请问,镀膜镜片的湿度影响大吗?</P>

huweiqian 发表于 2006-3-16 20:30:00

<P>清洗之后到装进真空室去镀膜大概有多长时间，时间长（２小时）有可能会造成这样的问题。</P>

mxb010ak47 发表于 2006-3-16 21:21:00

<P>要知道是什么原因，只有不停的试验了，很繁琐。</P>
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查看完整版本: 镀膜雾状原因分析。。。